ULTRAFAST ELECTRO-DYNAMIC X, Y AND THETA POSITIONING STAGE.

摘要

L'invention concerne un étage de positionnement X, Y et thêta électrodynamique et ultrarapide. Un étage de positionnement fabriqué selon cette invention permet à des charges utiles légères d'être déplacées avec des accélérations linéaires et angulaires extrêmement rapides sur des distances et des angles limités à l'intérieur d'un plan. Un aspect important de cette invention est un modèle permettant d'annuler le moment, ce qui permet aux forces et aux moments de réaction d'un élément fixe d'être proches de zéro, assurant ainsi un fonctionnement souple et ultrapide de l'étage de positionnement.