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发明名称
METHOD OF REMOVING SILICON TETRACHLORIDE FROM VAPOR-GAS MIXTURE
摘要
申请公布号
RU1787508(C)
申请公布日期
1993.01.15
申请号
SU19894747522
申请日期
1989.10.09
申请人
ZAPOROZHSKIJ GNII PO PROMYSHLENNOJ SANITARNOJ OCHISTKE GAZOV
发明人
ANDREEV VLADIMIR I,SU;PRIKHODKO VADIM P,SU;SHESTAKOV BORIS I,SU;PODRYADCHIKOV VIKTOR A,SU
分类号
B01D53/46;B01D53/14;B01D53/34;B01D53/78;C01B33/08
主分类号
B01D53/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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