发明名称 Semiconductor devices and their manufacture
摘要
申请公布号 US2748041(A) 申请公布日期 1956.05.29
申请号 US19520307231 申请日期 1952.08.30
申请人 RADIO CORPORATION OF AMERICA 发明人 LEVERENZ HUMBOLDT W.
分类号 C23F1/02;H01L21/00;H01L21/78;H01L27/082;H01L29/00;H01L29/06;H01L29/70;H01L29/73 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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