发明名称 PRODUCTION OF COATING FILM
摘要
申请公布号 JPH054896(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910154551 申请日期 1991.06.26
申请人 CANON INC 发明人 TANIGUCHI YASUSHI
分类号 C30B25/02;C30B25/16;C30B28/02;C30B29/04;C30B33/04;G11B5/187;G11B5/72;G11B11/10;G11B11/105 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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