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发明名称 HERSTELLUNG UND EVALUATION EINER AUSRICHTUNG MITTELS AUSRICHTZEICHEN.
摘要
申请公布号 DE3586501(T2) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 DE19853586501T 申请日期 1985.12.06
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 FEATHER, DOUGLAS, MITCHELL, AVENEL, NJ 07001, US
分类号 G03F1/00;G03B41/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/30;H01L21/67;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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