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发明名称
CARBON BOAT FOR LIQUID-PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPH054892(A)
申请公布日期
1993.01.14
申请号
JP19910180097
申请日期
1991.06.24
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
KONISHI MASAYA
分类号
C30B19/06;H01L21/208
主分类号
C30B19/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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