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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH056997(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910183345 申请日期 1991.06.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTSUKA FUMIO;SAGAWA MASAKAZU;IKEDA YOSHIHIRO;TSUCHIYA OSAMU;SUGIURA JUN
分类号 H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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