| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH056928(A) |
申请公布日期 |
1993.01.14 |
| 申请号 |
JP19910181540 |
申请日期 |
1991.06.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEDA SHUNJI;HIROI TAKASHI;MAKIHIRA HIROSHI;KUBOTA HITOSHI |
| 分类号 |
G01N21/27;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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