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发明名称 RF POWER SUPPLY DEVICE FOR ICP
摘要
申请公布号 JPH056798(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910156706 申请日期 1991.06.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ONO SHOZO
分类号 H01J49/04;H01J49/10;H05H1/30;H05H1/46 主分类号 H01J49/04
代理机构 代理人
主权项
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