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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH056942(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910270820 申请日期 1991.10.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJII TOYOKAZU;YAMAMOTO HIROSHI;HIRAO HIDEJI;FUJITA TSUTOMU
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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