发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH056904(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910264503 申请日期 1991.10.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMOTO HIROSHI;SASA MASAHIKO
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;H01P1/205;H01P7/04 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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