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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH056897(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910158154 申请日期 1991.06.28
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 ITO MASAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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