VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HALBLEITERBAUELEMENTS.,申请号DE19863685970T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HALBLEITERBAUELEMENTS.
摘要
申请公布号	DE3685970(T2)	申请公布日期	1993.01.14
申请号	DE19863685970T	申请日期	1986.02.20
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	NAKAHARA, MORIYA C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号	H01L21/033;H01L21/265;H01L21/3215;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/28	主分类号	H01L21/033
代理机构		代理人
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