发明名称 METHOD OF FORMING MULTILAYER WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH056941(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910181591 申请日期 1991.06.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HARADA DAIICHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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