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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ION BEAM CENTROID LOCATION
摘要
申请公布号 EP0290575(B1) 申请公布日期 1993.01.13
申请号 EP19870908068 申请日期 1987.11.18
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 LIEBERT, REUEL
分类号 H01J37/04;G01T1/29;H01J37/317 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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