发明名称 APPARATUS FOR PULLING SINGLE CRYSTALS
摘要
申请公布号 EP0310739(B1) 申请公布日期 1993.01.13
申请号 EP19880103768 申请日期 1988.03.10
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DRECHSEL, DIETER, DR.;JERICHO, KARL
分类号 C30B15/12;C30B15/14;H01L21/18 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
主权项
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