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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PULLING SINGLE CRYSTALS
摘要
申请公布号
EP0310739(B1)
申请公布日期
1993.01.13
申请号
EP19880103768
申请日期
1988.03.10
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
DRECHSEL, DIETER, DR.;JERICHO, KARL
分类号
C30B15/12;C30B15/14;H01L21/18
主分类号
C30B15/12
代理机构
代理人
主权项
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