Arrangement for coupling microwave energy.

摘要

Es wird eine Anordnung zur Einkopplung von Mikrowellenenergie in eine Reaktionskammer (14) beschrieben, die eine elektrisch stabile Abstimmung aufweist und in Grenzen tolerant ist gegen Änderungen von kritischen Abmessungen und Leistungsänderungen. Der Koaxialleiter (4) zwischen dem Hohlleiter (2) und der Reaktionskammer (14) ist derart ausgebildet, daß er zumindest zusammen mit der Reaktionskammer (14) für die verwendete Mikrowellenfrequenz einen verlustbehafteten Resonator bildet. Der Koaxialleiter (4) kann einen Absorber (10) aufweisen oder aber aus schlecht leitendem Material gefertigt sein. Auch besteht die Möglichkeit, die Güte des Resonators dadurch zu verschlechtern, daß zwischen der Metallplatte (13) und dem Außenleiterabschnitt (6) ein Ringspalt (15) freigelassen wird. <IMAGE>