发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING A TEST SPECIMEN
摘要
申请公布号 EP0495519(A3) 申请公布日期 1993.01.13
申请号 EP19920100764 申请日期 1992.01.17
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 HOSHI, HIROAKI;NISHIMURA, MATSUOMI;TANAKA, KAZUMI;MIYAZAKI, TAKESHI;OHNISHI, TOSHIKAZU;TAKAYAMA, HIDEHITO
分类号 G01N21/59;G01N21/82;G01N33/53;G01N33/543;(IPC1-7):G01N33/543;G01N15/02;G01N33/546 主分类号 G01N21/59
代理机构 代理人
主权项
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