| 发明名称 |
MEASUREMENT OF CONDUCTIVE LAYERS OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0451514(A3) |
申请公布日期 |
1993.01.13 |
| 申请号 |
EP19910103685 |
申请日期 |
1991.03.11 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B15/02;G01D5/48;G01K11/00;(IPC1-7):G01B15/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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