发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR LASER INTERFERENCE MEASURING OF LENGTHS IN TWO PERPENDICULAR COORDINATES WITH THERMAL EXPANSIVITY COMPENSATION
摘要
申请公布号 CS277300(B6) 申请公布日期 1993.01.13
申请号 CS19880006033 申请日期 1988.09.08
申请人 USTAV PRISTROJOVE TECHNIKY CSAV 发明人 KRSEK JIRI ING.;JAKL MILOS ING.
分类号 G01B9/02;G01B9/04;G02B21/00;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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