发明名称 MANUFACTURE OF ZONE PLATE
摘要
申请公布号 JPH052099(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910180486 申请日期 1991.06.26
申请人 NIKON CORP 发明人 MIZUNOE KATSUZO
分类号 G03F1/22;G21K1/06 主分类号 G03F1/22
代理机构 代理人
主权项
地址