发明名称 DEVICE FOR VACUUM-SEALING TARGET FOR SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH051377(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910040238 申请日期 1991.03.06
申请人 SHIN MEIWA IND CO LTD 发明人 MIYAZAKI ATSUSHI;HANAKI KATSUTADA
分类号 C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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