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发明名称
摘要
申请公布号 JPH051587(B2) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19860048368 申请日期 1986.03.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 ABE KATSUNOBU;ISOGAI SHIZUSHI;NAKAJIMA FUMIHIKO
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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