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发明名称 HIGH-POWER SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT COOLING TEST TOOL
摘要
申请公布号 JPH052050(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910153262 申请日期 1991.06.25
申请人 NEC CORP 发明人 MAEDA TETSUNORI
分类号 G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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