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发明名称
METHOD OF FORMING LAMINATED WIRING
摘要
申请公布号
JPH053254(A)
申请公布日期
1993.01.08
申请号
JP19910151647
申请日期
1991.06.24
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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