| 发明名称 |
SCAN-TYPE CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH053014(A) |
申请公布日期 |
1993.01.08 |
| 申请号 |
JP19910178735 |
申请日期 |
1991.06.24 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKASUJI MAMORU;SHIMIZU HIROYASU;SUZUKI SHOHEI |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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