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经营范围
发明名称
FORMING METHOD OF BLANKET TUNGSTEN PLUG
摘要
申请公布号
JPH053170(A)
申请公布日期
1993.01.08
申请号
JP19910151668
申请日期
1991.06.24
申请人
SONY CORP
发明人
MIYAMOTO TAKAAKI
分类号
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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