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发明名称 GRATING INTERFERENCE TYPE DISPLACEMENT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH051923(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910183085 申请日期 1991.06.26
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 SATOU SOUICHI;TOMITANI MASAKI;ITABASHI TATSUO
分类号 G01B11/00;G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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