发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTION OF FOREIGN SUBSTANCES ON WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH053238(A) |
申请公布日期 |
1993.01.08 |
申请号 |
JP19910154430 |
申请日期 |
1991.06.26 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUBOTA MASABUMI;NISHIO MIKIO |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;H01L21/66;H01S3/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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