发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH053211(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910151971 申请日期 1991.06.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SANO KEIICHI;NOGUCHI SHIGERU;IWATA HIROSHI;ISHIDA SATOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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