发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH053194(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910154349 申请日期 1991.06.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONO SHIGEKI;FUSE MOTOMASA;SHIGENAKA NAOTO;ISOBE YUSUKE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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