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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH053172(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910196756 申请日期 1991.08.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SASE YASUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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