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发明名称 FORMING METHOD OF TUNGSTEN PLUG
摘要
申请公布号 JPH053171(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910151661 申请日期 1991.06.24
申请人 SONY CORP 发明人 MIYAMOTO TAKAAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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