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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH053163(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910245548 申请日期 1991.09.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI TAKATOSHI;KUDO CHIAKI;NAKAO ICHIRO;FUJII TOYOKAZU;TERAI YUKA;IMAI SHINICHI;YAMAMOTO HIROSHI;NAITO KOJI
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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