| 发明名称 |
VACUUM FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH053161(A) |
申请公布日期 |
1993.01.08 |
| 申请号 |
JP19910212696 |
申请日期 |
1991.07.30 |
| 申请人 |
ANELVA CORP;NEC CORP |
发明人 |
AKETAGAWA KENICHI;SAKAI SUMIO;MURAKAMI SHUNICHI;MUROTA HIROYOSHI;TATSUMI TORU |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B25/18;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
