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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR THE IGNITION OF CVD PLASMAS
摘要
申请公布号 CA2073236(A1) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 CA19922073236 申请日期 1992.07.06
申请人 KRUEMMEL, HARALD;MOERSEN, EWALD;PAQUET, VOLKER;VOGT, HELGE;WEIDMANN, GUENTER 发明人 KRUEMMEL, HARALD;MOERSEN, EWALD;PAQUET, VOLKER;VOGT, HELGE;WEIDMANN, GUENTER
分类号 C23C4/00;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/31;H05B7/18;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C4/00
代理机构 代理人
主权项
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