| 发明名称 |
METHOD OF PURIFYING AND DEPOSITING GROUP IIIB AND GROUP VB COMPOUNDS TO PRODUCE EPITAXIAL FILMS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0353256(B1) |
申请公布日期 |
1993.01.07 |
| 申请号 |
EP19880905077 |
申请日期 |
1988.05.10 |
| 申请人 |
EAGLE-PICHER INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
POTTS, THOMAS, M. |
| 分类号 |
C01G1/06;C01B6/34;C01B9/00;C01B25/06;C01B25/10;C01B35/06;C01G15/00;C01G28/00;C07F5/00;C07F5/06;C07F9/50;C07F9/72;C07F9/94;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;G01N30/46 |
主分类号 |
C01G1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
