发明名称 PROCESS FOR PLASMA DEPOSITING SILICON NITRIDE AND SILICON DIOXIDE FILMS ONTO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0417170(B1) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 EP19890906620 申请日期 1989.05.22
申请人 OLIN CORPORATION 发明人 DORY, THOMAS, S.
分类号 C23C16/42;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/52 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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