发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES METALL-HALBLEITER-FELDEFFEKTTRANSISTORS UND DADURCH HERGESTELLTER TRANSISTOR.
摘要
申请公布号 DE3686089(T2) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 DE19863686089T 申请日期 1986.05.09
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAKAJIMA, SHIGERU C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO, KONOHANA-KU OSAKA-SHI OSAKA-FU, JP
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/337;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/28;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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