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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES METALL-HALBLEITER-FELDEFFEKTTRANSISTORS UND DADURCH HERGESTELLTER TRANSISTOR.
摘要
申请公布号
DE3686089(T2)
申请公布日期
1993.01.07
申请号
DE19863686089T
申请日期
1986.05.09
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP
发明人
NAKAJIMA, SHIGERU C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO, KONOHANA-KU OSAKA-SHI OSAKA-FU, JP
分类号
H01L29/812;H01L21/265;H01L21/337;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/28;H01L29/80
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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