发明名称 METHOD OF THINNING PLATES CONTAINING CRYSTALS OF SEMICONDUCTOR DEVICES AND INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1787295(C) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 SU19914945848 申请日期 1991.06.17
申请人 OLTUSHETS NIKOLAJ P,SU;PENKOV ANATOLIJ P,SU;KONONOV LEV V,SU;YATSUK ANATOLIJ V,SU;POLONIN ALEKSANDR K,SU;DERECHENIK ALEKSANDR L,SU 发明人 OLTUSHETS NIKOLAJ P,SU;PENKOV ANATOLIJ P,SU;KONONOV LEV V,SU;YATSUK ANATOLIJ V,SU;POLONIN ALEKSANDR K,SU;DERECHENIK ALEKSANDR L,SU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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