| 发明名称 |
AXIS OFFSET MEASURING DEVICE FOR A CRYSTAL PULLING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0375882(B1) |
申请公布日期 |
1993.01.07 |
| 申请号 |
EP19890120041 |
申请日期 |
1989.10.28 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED |
发明人 |
IBE, HIROYUKI |
| 分类号 |
G01B11/00;C30B15/00;C30B15/20;G01B11/27 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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