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发明名称 VERFAHREN ZUM BILDEN EINES SILIZIUMCARBIDFILMES
摘要
申请公布号 DE4220717(A1) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 DE19924220717 申请日期 1992.06.24
申请人 HOYA CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAGASAWA, HIROYUKI, AKISHIMA, TOKIO/TOKYO, JP;YAMAGUCHI, YOHICHI, HIGASHIMURAYAMA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 C01B31/36;C23C16/32;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/314 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
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