VORRICHTUNG ZUM ZERSETZEN MITTELS EINER GLIMMENTLADUNG.,申请号DE19853586637T-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUM ZERSETZEN MITTELS EINER GLIMMENTLADUNG.
摘要
申请公布号	DE3586637(T2)	申请公布日期	1993.01.07
申请号	DE19853586637T	申请日期	1985.06.21
申请人	KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO K.K., OSAKA, JP	发明人	TAWADA, YOSHIHISA, KITA-KU KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;NAKAYAMA, TAKEHISA, TARUMI-KU KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;TAI, MASAHIKO, OTSU-SHI SHIGA-KEN, JP;IKUCHI, NOZOMU, NISHINOMIYA-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号	H01L21/20;B09C1/02;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
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