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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0305055(B1) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 EP19880306979 申请日期 1988.07.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MAEDA, SATOSHI C/O PATENT DIVISION;SAWADA, SHIZUO C/O PATENT DIVISION;SHINOZAKI, SATOSHI C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/768;H01L27/108 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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