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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ZUENDEN VON CVD-PLASMEN
摘要
申请公布号 DE4122452(A1) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 DE19914122452 申请日期 1991.07.06
申请人 SCHOTT GLASWERKE, 6500 MAINZ, DE 发明人 KRUEMMEL, HARALD, 6500 MAINZ, DE;MOERSEN, EWALD, 6507 INGELHEIM, DE;PAQUET, VOLKER, 6500 MAINZ, DE;VOGT, HELGE, 6506 NACKENHEIM, DE;WEIDMANN, GUENTER, 6509 ARMSHEIM, DE
分类号 C23C4/00;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/31;H05B7/18;H05H1/24;H05H1/46 主分类号 C23C4/00
代理机构 代理人
主权项
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