发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FLAW DETECTION OF PLANAR REFLECTIVE SURFACES
摘要
申请公布号 RU1786406(C) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 SU19894781129 申请日期 1989.12.12
申请人 NT KOOPERATIVNOE PREDPRIYATIE "AKTSENT" 发明人 RYBALKO VLADIMIR V,SU
分类号 G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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