| 发明名称 |
Method for producing articles by chemical vapor deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5175929(A) |
申请公布日期 |
1993.01.05 |
| 申请号 |
US19920845992 |
申请日期 |
1992.03.04 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
ANTHONY, THOMAS R.;FLEISCHER, JAMES F. |
| 分类号 |
C23C16/56;C23C16/01;C23C16/26;C23C16/27;C23F1/00;D03D47/32 |
主分类号 |
C23C16/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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