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发明名称
摘要
申请公布号	CH681016(A5)	申请公布日期	1992.12.31
申请号	CH19900000625	申请日期	1990.02.27
申请人	LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	ZEJDA, JAROSLAV;SCHUHMACHER, MANFRED
分类号	C23C14/34;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/683	主分类号	C23C14/34
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