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发明名称 TRENCH ETCHING IN AN INTEGRATED-CIRCUIT SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0407077(A3) 申请公布日期 1992.12.30
申请号 EP19900306956 申请日期 1990.06.26
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 HEY, HANS PETER WILLY;YOSHIDA, KEI
分类号 H01L21/76;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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