SYSTEM FOR REMOVING MATERIAL FROM A WAFER,申请号IL19920101474-传众专利搜索

发明名称	SYSTEM FOR REMOVING MATERIAL FROM A WAFER
摘要
申请公布号	IL101474(D0)	申请公布日期	1992.12.30
申请号	IL19920101474	申请日期	1992.04.02
申请人	HUGHES AIRCRAFT COMPANY	发明人
分类号	H01L21/302;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/66;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L/	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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